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减薄贴膜机

MT80 6"&8"手动减薄贴膜机; MT120 12"手动减薄贴膜机; MT82 6"&8"自动减薄贴膜机; MT122 12"自动减薄贴膜机;

全国销售服务专线:024-31238383
型号MT80MT120MT82MT112
工件最大尺寸6″&8″12″6″&8″12″
晶圆厚度500-1000μm500-1000μm300-750μm300-750μm
膜类型蓝膜&UV膜
膜厚度0.05-0.2mm
膜长度≦100m
膜宽度220-250mm240-350mm220-250mm240-350mm
工作台防静电特氟龙处理
加热温度室温-150℃
效率80片/小时75片/小时75片/小时70片/小时
供气0.5Mpa洁净干燥压缩空气
供电AC220V,10AAC220V,10AAC220V,16AAC220V,16A
外形尺寸
W*D*H
390mm*770mm*610mm480mm*850mm*610mm650mm*880mm*500mm600mm*960mm*500mm
重量50kg60kg75kg90kg


功能介绍:

1、MT80&MT120

先进的防静电滚轮贴膜;

手动拉膜及贴膜;

手动晶圆上下料;

晶圆边沿无飞边切割技术;

结构合理换刀方便;

工作台浮动设计,高度可调;

离型膜自动缠绕回收;

可根据需求做定制化;

2、MT82&MT122

先进的防静电滚轮贴膜;

防静电离子风机;

自动胶膜传送及贴覆;

贴膜压力及速度均可调;

手动晶圆上下料;

晶圆边沿无飞边切割技术;

基于PLC程序控制;

可根据需求做定制化;


适用于半导体晶圆减薄制程中的贴膜工艺。

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